根据广东先导微电子科技有限公司年产4万片8英寸砷化镓衬底扩建项目环境影响评价文件、技术评估报告等,按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,我局拟对该项目环境影响评价文件作出批准决定。为体现公开、公正的原则,强化公众参与,现予公示,公示期5个工作日(2023年08月24日至2023年08月30日)。如有意见,请在公示期内来信或来电向我局反映。
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听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定,自公示之日起五个工作日内申请人及有关利害关系人可对我局拟作出的决定提出听证申请。
项目名称 |
广东先导微电子科技有限公司年产4万片8英寸砷化镓衬底扩建项目 |
建设地点 |
清远市清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号(清远先导材料有限公司内 |
建设单位 |
广东先导微电子科技有限公司 |
项目概况 |
本次扩建项目位于清远市清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号(清远先导材料有限公司内)。在北侧厂区的A车间(4#)的1层和2层空置区域,年产8英寸砷化镓衬底4万片,其中N型砷化镓衬底2万片、P型砷化镓衬底2万片。 |
环评机构 |
清远市共创环保工程技术有限公司 |
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施 |
(一)废气 扩建项目王水清洗工序酸雾经密闭设备管道直连收集,采用1套“碱液喷淋塔”处理,腐蚀、氨水清洗、SC1清洗工序氨气经密闭设备管道直连收集,采用1套“酸液喷淋塔”处理后,通过一根25米高排气筒排放。甲醇脱模工序废气、乙酸清洗工序废气、酒精清洗工序废气经密闭设备管道直连收集,黏合工序废气经软帘围蔽+集气罩收集,采用1套“水喷淋+活性炭吸附”装置处理后,通过一根25米高排气筒排放。 (二)废水 砷化镓废水和抛光废液经A车间污水处理系统1#处理后,淡水进入纯水制备系统回用于生产,浓水重新进入A车间污水处理系统进行循环、不外排,系统1#定期排出的压滤液依托先导厂区污水处理站处理,1#MVR冷凝水回用于先导厂区冷却循环补充水。王水清洗废酸回用于A车间污水处理系统1#中的pH调节工序。乙酸清洗工序乙醇废水、酒精清洗工序酒精废水和氨水清洗工序氨氮废水进入A车间污水处理系统2#处理后,浓水依托先导厂区生化处理系统处理后,与淡水一并排入龙塘污水处理厂进一步处理。甲醇浸泡脱模工序废甲醇、乙酸清洗工序废乙酸和酒精清洗工序废酒精纳入固体废物管理,收集后交由有危险废物资质单位收集处置。 喷淋塔废水排入先导厂区污水处理站(化学处理+混凝沉淀+2#MVR蒸发)处理后排入龙塘污水处理厂进一步处理。经三级化粪池处理后的生活污水和纯水制备浓水排入龙塘污水处理厂进一步处理。 (三)噪声 扩建项目运营过程中主要噪声设备为真空分子泵、外圆磨床、线锯等。经选用低噪声设备,消音、基础减振、厂房隔声等措施后,确保厂界噪声达标后排放。 (四)固体废物 项目产生的一般固体废物包括员工生活垃圾,收集后交由环卫部门清运处理;废石英管收集后交由资源回收单位回收利用;一般工业污泥和生化污泥收集后交由相关单位收集处理。砷化镓沉渣、研磨泥浆、废甲醇、废乙酸、废酒精、含砷污泥、废滤袋、废滤膜、废离子交换树脂、失效活性炭、废活性炭、镓原料的包装袋、废劳保用品、废机油等危险废物收集后交由有资质单位处置。 (五)合理划分防渗区域,并严格采取防渗措施,防止污染地下水、土壤环境。 (六)环境风险防范措施和应急预案 建立健全环境事故应急体系,加强污染防治设施的管理和维护,设置足够容积的事故应急池。 |
公众参与情况 |
受理公告期间,我单位无收到公众对该项目的意见和建议。 |
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